“
1. 일반사항
1.1 적용범위
(1) 이 기준은 클린룸의 일정한 청정도를 유지하도록 클린룸의 제작, 시공 및 유지관리에 적용한다. 다만, 부분적으로 이 기준에 따를 수 없거나 기재되지 않은 사항 또는 특수한 구조로서 이 시방대로 실시할 수 없는 사항에 대하여는 담당원과 협의하여 자재, 구조 및 공법 등을 정하여 그 지시에 따르거나 제조사의 공사시방에 따른다.(2) 클린룸은 공기 부유입자의 농도를 명시된 청정도 수준 한계 이내로 제어하여 오염 제어가 행해지는 공간으로 필요에 따라 온도, 습도, 실내압, 조도, 소음 및 진동 등의 환경조성에 대해서도 제어 및 관리가 행해지는 공간이다.(3) 클린룸 또는 청정 구역에 적용할 수 있는 공기 중 입자의 청정도 등급은 특정 입자 크기에서의 최대 허용 농도(입자수 / m³)로 나타내며, 등급 1, 등급 2, 등급 3, 등급 4, 등급 5, 등급 6, 등급 7, 등급 8, 등급 9로 표기한다. 공기 부유 입자의 청정도 등급 및 입자 농도는 표 1.1-1과 같다.
| 등급 분류 | 0.1 ㎛ | 0.2 ㎛ | 0.3 ㎛ | 0.5 ㎛ | 1 ㎛ | 5 ㎛ |
| 등급 1 | 10 | 2 | － | － | － | － |
| 등급 2 | 100 | 24 | 10 | 4 | － | － |
| 등급 3 | 1,000 | 237 | 102 | 35 | 8 | － |
| 등급 4 | 10,000 | 2,370 | 1,020 | 352 | 83 | － |
| 등급 5 | 100,000 | 23,700 | 10,200 | 3,520 | 832 | 29 |
| 등급 6 | 1,000,000 | 237,000 | 102,000 | 35,520 | 8,320 | 293 |
| 등급 7 | － | － | － | 352,000 | 83,200 | 2,930 |
| 등급 8 | － | － | － | 3,520,000 | 832,000 | 29,300 |
| 등급 9 | － | － | － | 35,200,000 | 8,320,000 | 293,000 |
| 주 1)표 1.1-1에 있어서 입자 농도 측정을 하기 위한 측정 대상 입자의 크기는 구매자와 공급자 사이의 계약에 의하여 결정된다. 2)여러 크기의 입자에 대하여 측정할 경우 인접한 바로 다음 크기의 큰 입자는 인접한 작은 크기의 입자 보다 1.5배 큰 입자 크기에서 측정하여야 한다. 3) 표 1.1-1에 나타낸 부유 입자의 등급 분류는 등급 분류 숫자 여기서, |
1.2 참고 기준
1.2.1 관련 법규
내용 없음
1.2.2 관련 기준
·
1.3 용어의 정의
● 공기청정도 : 입자 크기 0.1에서 5㎛의 입자가 1m³ 중에 몇 개 포함되어 있는가에 따라 나타낸 등급● 상한농도: 대상 입자의 최대 허용 농도를 나타냄● 스트링거(stringr): 가로 거더 위에 놓인 세로 보● 액세스플로어(access floor): 콘크리트 슬래브와 바닥 마감 사이에 배선이나 배관을 하기 위한 공간을 둔 2중 바닥● 웨더스트립(weather strip): 틈새 바람이나 빗물의 침입을 방지하기 위한 가늘고 긴 자재● 유공판(perforated board): 흡음 효과나 디자인 상의 목적에서 다수의 작은 구멍을 뚫은 판● 코킹(caulking): 점착성이 있는 자재로 작은 틈에 충전재를 넣는 것● 클린룸: 공기 부유입자의 농도를 명시된 청정도 수준 한계 이내로 제어하여 오염 제어가 행해지는 공간으로 필요에 따라 온도, 습도, 실내압, 조도, 소음 및 진동 등의 환경조성에 대해서도 제어 및 관리가 행해지는 공간이다.● 탑코팅(top coating): 마무리를 목적으로 한 최종 칠● 패스박스(pass box): 클린룸의 벽면에 설치되는 소형 물품의 이송용 장치
1.4 제출물
공사에 대한 별도의 시방서가 없는 경우에는 사전에 다음과 같은 문서를 제출하여 담당원의 승인을 얻는다.(1) 부위별 상세 시공도서(2) 제조회사의 제품시방서(3) 시공계획서(4) 공정표(5) 기타 사항은
1.5 품질보증
1.6 환경유의사항
2. 자재
2.1 바닥공사
2.1.1 일반사항
바닥에 사용되는 자재는 표 2.1-1의 요구에 충족되어야 한다.
| 자재의 성질 | 요구 성능 |
| 내발진성, 마모성 | 보행 및 기기 이동 시, 마모와 충격에 의해 자재 자체에서 분진이 발생되지 않는 것 |
| 내오염성 | 오염물질 부착이 어렵고 청소로 쉽게 제거할 수 있는 것 |
| 내수성, 방수성 | 자재 자체가 물에 의해 변질, 변형되지 않고 약한 세정행위에 대하여 방수 및 내수 기능이 있는 것 |
| 내약품성 | 소독약과 가스멸균 및 사용하는 약품류에 의해 변질, 변형, 파괴되지 않는 것 |
| 내열성 | 고온수 등의 열에 의해 변질, 변형되지 않는 것 |
| 기밀성 | 균열 등으로 상하단의 기밀차가 발생하여 공기의 유통이 생기지 않는 것 |
| 방진성 | 정밀기기가 설비기기 등의 진동원에서 발생되는 진동에 영향을 받지 않도록 방진처리로 제어될 수 있는 것 |
| 가변성 | 생산기기 변경 및 평면 변경(lay out)에 잘 적응할 수 있는 것 |
| 대전방지성 | 정전기가 생기지 않는 것 |
(2) 이 기준에 명기되지 않은 것은
2.1.2 타일 공사(합성 고분자계 바닥 타일)
합성 고분자계 바닥 타일은 클린룸의 요구에 충족되는 자재를 사용한다.
2.1.3 도로형 바닥재
합성 고분자계의 도료는 클린룸의 요구에 충족되도록 표 2.1-2에 따른다.
| 종류 | 특성 | 용도 |
| 에폭시 수지계 | 접착력, 내약품성, 내마모성이 우수하다. | 화학공장, 의약품공장 |
| 폴리우레탄계 | 내마모성, 내충격성, 신축성이 우수하다. 경화 시에 수분 발생한다. | 일반용 바닥 방수성이 요구되는 바닥 |
| 폴리에스테르계 | 내산성은 극히 우수하나 알칼리에 비교적 약하다. 경화 시에 수축이 크므로 주의를 요한다. | 내산성공장의 바닥 |
| 후란 수지계 | 내약품성은 우수하지만 고가이다. | 실험실 바닥 |
| 초산비닐 수지계 | 내약품성이 약하고 강도가 떨어진다. | 일반용 바닥 |
| 아크릴 수지계 | 내발진성이 좋다. | 일반용 바닥 |
2.1.4 이중바닥재
(1) 이중 바닥재는 KS F 4760에 적합한 제품을 사용하여야 하며 종류는 공사시방서에 따른다.(2) 기타 부속자재, 부품은 클린룸 용도 및 사용 목적에 적합한 제품으로 재질은 한국산업표준 또는 이와 동등 이상의 제품을 사용하여야 한다.
2.2 벽체공사
2.2.1 일반사항
클린룸 벽에 사용되는 벽체의 자재는 표 2.2-1의 요구 성능을 충족하여야 한다.
| 특성 | 요구 사항 |
| 방진성, 내충격성 | 자재 자체에서 발진이 없고, 사람 물체와의 접촉과 충격에 의해 손상되지 않을 것 |
| 기밀성 | 자재의 접촉부 등으로부터 공기 등의 통과가 없을 것 |
| 내진성, 내변형성 | 지진 시의 변형에 대해서 손상되지 않을 정도의 적응성을 지니고 있을 것 |
| 내약품성 | 소독약과 유독가스 및 사용 약품류의 분무에 의해 변질, 변형 등이 생기지 않을 것 |
| 단열성 | 온도제어에 영향이 없는 열관류 저항이 있고 냉교현상 등의 약점이 없으며, 결로현상이 발생되지 않을 것 |
| 방습성 | 습도제어에 영향이 없는 방습성을 지닐 것 |
| 내수성, 발수성 | 세정수 등의 수분에서의 변질, 변형이 생기지 않을 것 적당한 발수성이 있을 것 |
| 내열성 | 국소적인 고온에서 변질, 변형 등이 생기지 않을 것 |
| 내습성 | 국소적인 고습에서 변질, 변형 등이 생기지 않을 것 |
| 내오염성 | 오염물질 부착이 어렵고 청소로 쉽게 제거할 수 있을 것 |
| 내마모성 | 동물 등에 의한 긁힘에 손상이 없는 것 |
| 내식성 | 균 등의 번식이 어렵고 부식되지 않을 것 |
2.2.2 샌드위치 패널 공사(복합자재 구성판)
(1) 철판의 부식을 막기 위해 두께 0.6 ㎜ 이상의 아연도금 철판을 사용한다.(2) 샌드위치 패널의 골격유지 및 마감의 평활화를 위해 요철형태의 알루미늄 주심재와 내화성 수지로 처리된 종이 허니콤 심재 또는 알루미늄 허니콤 심재를 사용한다.(3) 석고보드① KS F 3504에 적합한 자재를 사용하여야 하며, 종류 및 치수는 설계도서 또는 공사시방의 지정에 따른다.② 두께는 소요 이상의 공장생산제품을 사용한다.(4) 접착제① 철판과 석고보드 사이는 소요 강도 이상의 접착력을 가진 접착제를 사용한다.② 석고보드와 허니콤 심재 사이에는 에폭시 수지 계통의 접착제를 사용한다.(5) 도장① 피막의 종류, 피막의 두께는 칠공사 시방에 따르지만 소요 이상의 표면 저항값을 유지해야 한다.② 내수성, 내열성, 흡음성, 세척성, 내산성, 내염성, 도전성, 내분진성, 강성, 색종 등의 시험에 합격하여야 한다.
2.2.3 스틸 집섬보드 패널 공사
(1) 석고보드① KS F 3504에 적합한 자재를 사용하여야 하며 종류 및 치수는 설계도서 또는 공사시방의 재정에 따른다.② 두께는 소요 이상의 공장생산 제품을 사용한다.(2) 도장① 피막의 종류, 피막 두께는 칠공사 시방을 따르지만 소요 이상의 표면 저항값을 유지하여야 한다.② 내수성, 내열성, 흡음성, 세척성, 내산성, 내염성, 도전성, 내분진성, 강성, 색조 등의 시험에 합격하여야 한다.(3) 표면재: 요구되는 도장성능 이상을 가진 철판 혹은 피막 시트를 부착하여 사용한다.
2.3 천장공사
2.3.1 일반사항
(1) 천장재는 내발진성이 우수한 벽재와 같은 불연성 자재를 사용한다.(2) 조명기구 주변의 기밀성, 공조기기 주변의 단열성에 특히 주의하여야 한다.(3) 조명기구, 공조기기 등을 지지할 지지재(골조)는 충분한 강도를 가져야 한다.(4) 천장마감 패널의 요구되는 성능은 표 2.2-1의 성능에 준한다.
2.3.2 천장틀 구조
(1) 일반구조용 경량형강의 KS D 3530 또는 동등 이상이어야 한다.(2) 천장틀은 몰드 바의 지지점을 결정한 후 구조계산을 하여 부재를 선택한다.(3) 천장틀의 형강부재 길이는 운반 가능한 길이로 하며, 연결 부위 조인트는 별도의 볼트로 접합한다.(4) 부재형태에 따른 부속체결방법은 담당원의 승인을 얻는다.(5) 코너 조인트는 KS D 2331 및 KS D 6006 또는 동등 이상의 자재를 사용한다.(6) 몰드바 및 와이어 커넥터의 소재는 소요강도 이상의 자재를 사용한다.(7) 행잉 브래킷은 열간 압연강판으로 KS D 3753 또는 동등 이상의 스틸 앵글(SS41)을 사용한다.(8) 볼트, 너트, 와셔의 재질은 SM45C 기준 또는 동등 이상의 재질을 사용한다.
2.3.3 천장 마감재
천장 마감재는 별도의 공사시방이 없을 경우는 제조회사의 시방에 준하거나 벽체 자재에 준한다.
2.4 창호공사
2.4.1 일반사항
(1) 외부에서 클린룸로 통하는 출입문은 오염의 기회를 최소화한 구조로 한다. 청정 실내의 복도와 공정구역 구획에 설치되는 일반 출입문은 위급 시 피난방향을 향해 한 방향으로만 열리도록 한다.(2) 창은 생산장비의 배치에 적합하여야 하며, 투시면은 대전방지재를 사용한다. 이 시방에 명기되지 않은 사항은 창호공사 시방을 따른다.
2.4.2 출입문
출입문의 부위별 자재는 표 2.4-1에 준하며, 경첩은 KS F 4519 또는 동등 이상이어야 한다.
| 부위 / 문종류 | 문틀 | 문턱 | 비고 |
| 자동 여닫이문 | 알루미늄판 또는 스테인리스 강판 | 스테인리스 강판 | 주출입구 |
| 내부문 | 알루미늄판 또는 스테인리스 강판 | 스테인리스 강판 | 클린룸 내부 |
| 방화문 | 스테인리스 강판 | 스테인리스 강판 | 장비 반입구 |
2.4.3 창
(1) 창틀의 재질은 알루미늄판 또는 스테인리스 강판을 사용하며 KS D 0037기준 또는 동등 이상의 제품으로 무정전 도장제품으로 한다.(2) 투시면의 재질은 대전방지 재질을 사용한다.
3. 시공
3.1 클린룸공사 일반
3.1.1 기본적 요구사항
클린룸 제작·시공·관리유지를 위한 기본적인 분진관리는 표 3.1-1에 따른다.
| 구분 | 내용 |
| 진입방지 | 수급인, 작업자는 분진을 실내에 유입시키지 말 것 |
| 발진방지 | 인체, 생산기계, 각종 설비, 비품, 건재 등의 발진을 방지할 것 |
| 제거, 배제 | 내부에서 발생된 분진을 신속하게 배출할 것 |
| 응집, 퇴적방지 | 분진을 퇴적시키지 않는 구조 |
| 선청정 유지 | 클린룸 내부에 입실하는 사람, 부품, 기자재는 공기세척(air shower), 물세척(water shower) 등으로 반드시 청정조건을 유지할 것 |
(1) 일반 요구사항① 모든 내면은 매끄러우며 흠, 턱, 구멍 등이 없어야 한다. 모서리는 다듬질을 해주고, 모든 연결 배관들과 전선 등은 오염 경로나 오염원이 되지 않도록 설치한다.② 모든 접합부는 평활하게 연결되어야 하며 작업을 수행하는 데 꼭 필요한 것들만 클린룸에서 연결하고 그 외의 휴지상자, 스위치판, 분리기, 밸브 등과 같은 다른 접합부는 가능한 클린룸 외부에 설치해야 한다.③ 작업자의 움직임을 최소화하기 위한 통신장비들을 준비해 두어야 한다.④ 요구청정도, 기류 및 기타 환경조건들을 만족시키기 위한 공기조화기 및 기타 필요설비를 준비한다.(2) 자재 요구사항
클린룸을 구성하는 자재는 표 3.1-2의 요구를 충족하여야 한다. 이 기준에서 사용하는 용어를 다음과 같이 정의한다.
| 항목 | 요구 부위 | 요구 내용 | ||
| 천장 | 벽 | 바닥 | ||
| 발진성 | ○ | ○ | ○ | 자재 자체로부터 발진이 적을 것 |
| 내마모성 | ○ | ○ | 마모량이 적을 것 | |
| 내수성 | ○ | ○ | ○ | 물에 의한 변형, 부식이 어렵고, 물청소가 가능할 것 |
| 내약품성 | ○ | ○ | ○ | 클린룸 내의 약품에 대한 사전 합의가 있거나 내성이 있을 것 |
| 도전성 | ○ | ○ | ○ | 전기 저항치가 작고 대전이 어렵고, 대전 시 신속히 감소될 것 |
| 내흡습성 | ○ | ○ | 열화방지, 녹 등의 발생에 대비하여 습기 흡수가 어려울 것 | |
| 평활성 | ○ | ○ | ○ | 표면이 매끄러워 먼지 등의 부착이 어렵고 청소가 용이할 것 |
(3) 구조요구사항
클린룸의 구조는 표 3.1-3의 요구를 충족하여야 한다.
| 항목 | 요구 부위 | 요구 내용 | ||
| 천장 | 벽 | 바닥 | ||
| 내하중성 | ○ | 중량재로 파손되지 말 것, 대형 차량의 주행으로 들뜨거나 떨어짐이 없을 것 | ||
| 내진성 | ○ | ○ | ○ | 지진 등 진동에 안전구조일 것, 잔금 등이 생기지 않을 것 |
| 기밀성 | ○ | ○ | ○ | 내부의 양압에 대해 기밀성 유지, 외부먼지에 효과적 구조일 것 |
| 내압성 | ○ | ○ | ○ | 일상적인 양압에 비변형 구조일 것 |
| 내충격성 | ○ | 낙하 등의 충격으로 분할, 분해, 우그러짐이 없을 것 | ||
| 단열성 | ○ | ○ | ○ | 온습도 조건 유지 및 결로 등의 문제가 없는 단열성 구조일 것 |
| 차음성 | ○ | ○ | ○ | 내외에서 발생한 소리가 투과하기 어려운 구조일 것 |
| 방화성 | ○ | ○ | ○ | 건축기준법규, 소방법규 등에 맞는 구조일 것 |
| 거주성 | ○ | ○ | ○ | 바닥이 미끄럽지 않고 색조, 천장높이 등으로 압박감이 없을 것 |
| 흡음성 | ○ | ○ | ○ | 발생한 소리가 반향되기 어려운 구조일 것 |
(4) 부위별 요구사항① 바닥가. 바닥의 재질은 오염물을 생성시키거나 보유하지 않는 자재를 사용한다.나. 바닥은 일상 작업의 마모현상에 충분히 견딜 수 있으며, 하중 등의 특별한 물리적 조건들에 충족되도록 시공되어야 한다.다. 접합부에는 오염물이 끼는 것을 방지할 수 있게 용접하고 다듬질해서 높이를 균일하게 하거나 이와 유사한 구조로 한다.② 벽체와 천장가. 벽체와 천장은 입자의 부착을 방지하는 특성을 가져야 하며, 청소가 용이한 구조로 한다.나. 클린룸은 외부에서 오염원이 유입될 수 없는 구조로 설계, 시공한다.③ 출입구(장비, 물품 반입구)가. 평상 시 작업자나 물건의 출입을 위해 공기세척이나 물세척 시설을 갖춘 전실을 갖추어야 한다.나. 문은 자동으로 닫혀야 하며 기기나 장비 등의 특정한 물건이나 사람이 출입할 수 있는 구조이어야 한다.다. 규정에 없는 물건, 장비 등의 반입으로 인한 주변오염의 위험성을 줄이기 위해 필요한 표시를 출입구 앞에 설치한다.라. 출입구 창은 오염물질의 유입을 방지하기 위해 열리지 않는 구조로 하며 밀봉한다.마. 출입구 창의 면적은 열 손실, 분진의 응축 및 소음 등을 줄이기 위해 가능한 최소화한다.바. 열전달을 최소화하고 방음조치를 할 수 있게 이중구조로 한다.④ 출입구(사람)가. 오염원을 제거하기 위하여 전실을 설치하며 필요한 경우 전실 내에 에어 샤워(air shower) 등을 설치하도록 한다.나. 작은 물품들을 반입, 반출할 경우에는 패스박스(pass box) 등을 설치하도록 한다.
3.2 바닥공사
3.2.1 타일 공사(합성 고분자계 바닥 타일)
(1) 시공① 바닥의 정리 및 준비: 시공 시 바닥은 평활하고 먼지, 기름 등의 오염이 제거된 건조상태를 유지한다.② 타일 및 동 테이프의 시공선을 긋는다.③ 도전성 본드를 사용하여 동 테이프를 시공한다.④ 타일 시공선 바깥에서 중앙으로 타일을 깐다.⑤ 접지한다.⑥ 타일의 연결 부분을 용접한다.가. 타일 시공 후 접착제가 충분히 경화되면 타일 연결 부분을 따라 타일두께의 2/3 크기의 V형 홈을 판다.나. 직경 3~4㎜ 정도의 PVC 용접봉을 사용하여 용접한다.다. 용접 부위의 돌출부 높이를 일정하게 한다.라. 작업이 완료 후 24시간 이상 경과 후에 스펀지 등을 사용하여 중성세제로 타일 표면을 깨끗이 닦아준다.(2) 검사 및 유지관리① 표면상태의 검사는 육안으로 한다.② 표면저항 측정기를 이용하여 표면전기저항 수치가 요구기준에 적합한지 확인한다.③ 청소는 먼지 제거 후 물걸레로 닦는다.④ 오염 부위는 즉시 세척제를 사용하여 닦는다.⑤ 도전성 유지에 장애가 되는 왁스의 사용을 금하며, 표면이 손상되지 않도록 보양한다.
3.2.2 도료형 바닥재
(1) 시공① 절연성 바닥재가. 일반사항 클린룸 시멘트 바닥 위에 두께 3~5 ㎜의 에폭시계 수지 혹은 우레탄계 수지로 이음새가 없는 평평한 바닥구조로 한다.나. 시공(가) 바닥면 전처리㉮ 시멘트 바닥면의 기름, 수분, 먼지 및 모래들의 불순물을 깨끗이 제거한다.㉯ 바닥면의 미장층이 들떠 있는지를 확인한 후 들뜬 부분은 제거하고 에폭시 모르타르로 미장 처리한다.(나) 하도작업㉮ 에폭시계 침투성 하도재를 1∼2회 도포한다.㉯ 바닥면의 흡수력이 큰 부위는 3회까지 도포한다.㉰ 용제가 완전히 증발되고 충분히 경화한 후 중도작업을 한다.(다) 중도작업㉮ 하도작업 후 요철부분은 퍼티재를 사용하여 바닥면을 고른다.㉯ 중도재를 두께 1∼2 ㎜로 균일하게 도포한다.㉰ 실내온도 20 ℃를 기준 12∼24시간 경과, 경화상태를 확인한 후에 상도작업을 한다.(라) 상도작업㉮ 상도재를 두께 2∼3 ㎜로 균일하게 도포한다.㉯ 경화시간은 실내온도 20 ℃ 기준으로 24시간 이상 유지한다.(마) 마감작업㉮ 에폭시 라이닝 공사 시에는 탑코팅을 생략할 수 있으나 마모나 긁힘의 내성을 보강하기 위해 마감작업을 할 수 있다.㉯ 우레탄 라이닝 공사 시에는 반드시 마감작업이 필요하다.(바) 주의사항㉮ 환기가 잘 되도록 환기나 통풍시설을 설치하고 화기예방대책을 수립한다.㉯ 바닥재가 완전히 경화되기 전에는 일체의 출입을 금하고, 오물이 떨어지지 않게 한다.㉰ 주제와 경화제를 잘 혼합한 후 사용한다.② 도전성 바닥재가. 일반사항(가) 청정도가 높은 클린룸의 바닥에 도전성 바닥재를 사용한다.(나) 도전성 도료는 액세스 플로어(access floor) 아래의 바닥면, 벽, 천장 및 각종 배관의 외면에 사용한다.(다) 도전성 바닥재는 도전성 하도재, 중도재, 상도재 및 마감코팅재로 구분한다.(라) 도전성 바닥재 시공 시 표면전기저항은 106∼109 이 되어야 한다.나. 시공(가) 청정도가 높은 클린룸의 바닥에 도전성 바닥재를 사용한다.(나) 하도 작업㉮ 도전성 하도재는 특수 탄소가 들어 있는 에폭시 수지 하도재를 사용한다.㉯ 용제가 완전히 증발되고 충분히 경화된 후 중도작업에 들어간다.㉰ 1차 도포는 하도재에 용제를 섞어 시공하고, 2차 도포는 하도재의 원액으로 시공한다.㉱ 건조 후의 표면 전기저항은 104∼106
이 되어야 한다.(다) 중도작업㉮ 도전성 중도재는 표면 전기저항 106∼109
이 되어야 한다.㉯ 도전성 중도재를 두께 2∼3 ㎜로 셀프 레벨링하여 도포한다.㉰ 클린룸 온도 20 ℃를 기준으로 24시간 경과 후 마감 코팅작업을 한다.㉱ 시멘트 바닥면이 고르지 않거나 모체가 약할 경우 도전성 에폭시 모르타르층을 두께 4∼5 ㎜로 고르게 도포한 후 도전성 중도재의 셀프 레벨링을 하여야 한다.(라) 마감 코팅㉮ 중도작업이 완료된 바닥면을 확인하고, 요철 면이나 흠집을 손질한다.㉯ 도전성 마감코팅재의 표면 전기저항은 106∼109
이 되어야 한다.㉰ 도전성 중도재를 두께 2∼3 ㎜로 셀프 레벨링하여 도포한다.㉱ 클린룸 온도 20 ℃를 기준으로 24시간 경과 후 마감 코팅작업을 한다.㉲ 시멘트 바닥면이 고르지 않거나 모체가 약할 경우 도전성 에폭시 모르타르층을 두께 4∼5 ㎜로 고르게 도포한 후 도전성 중도재의 셀프 레벨링을 하여야 한다.(마) 주의사항㉮ 작업 시 항상 환기가 잘 되도록 통풍시설을 하고 화기예방대책을 수립한다.㉯ 주제와 경화제의 비율은 제조사의 시방을 따른다.㉰ 크린룸 기온이 5 ℃ 이하이거나 상대습도 85% 이상인 경우에는 시공을 하여서는 안 된다.㉱ 배합 후 사용 가능한 시간 내에 시공하고 사용 가능한 시간이 경화하여 점도가 상승한 것을 사용해서는 안 된다.(2) 검사① 표면 전기저항이 요구기준에 적합한지 확인한다.② 표면상태의 검사는 육안으로 한다.(3) 유지관리① 일반적인 청소는 먼지 제거 후 물걸레로 닦는다.② 오염부위는 즉시 세척제를 사용하여 닦아낸다.③ 오염물질의 종류를 확인하고 세제를 선정하며, 세제는 도장면의 손상이 없는 것을 선택한다.
3.2.3 이중 바닥재(raised access floor)
(1) 시공① 세부 상세도서를 작성한다.② 설치도 작성가. 세부 상세도서에 따라 지지대(support) 배치 결정을 한다.나. 지지대 위치가 배관, 덕트 등의 주요공정에 적합한지를 협의한다.다. 세부 상세도서 및 설치도서의 승인을 얻는다.③ 자재가공 설계도서 작성가. 설치도서를 기초로 자재 가공도서를 작성한다.나. 지지대 높이 등 모든 제반 사항은 콘크리트 바닥면의 수평을 점검한 후 결정한다.다. 자재를 충분히 검토하고 필요 시에 담당원의 승인을 얻는다.④ 표시가. 현장 내의 청소를 청결하게 하고 기준선을 확인한다.나. 기준선과 설치도서를 기준으로 작업선을 표시한다.다. 액세스 플로어(access floor) 레벨, 기계위치들의 관계 등을 표시한다.⑤ 앵커링(anchoring)가. 표시된 위치에 지지용 앵커용 드릴링 작업을 한다.나. 드릴링 중 진공청소기로 분진을 흡입하여 현장 내의 청정도를 유지한다.다. 구멍 내의 분진을 충분히 제거한 후 앵커볼트를 박는다.⑥ 지지대 설치지대의 수직 설치를 위해 지지대 부분은 사전 청소를 한 후에 실시한다.⑦ 스트링거(stringer: 세로 보) 설치가. 설치도서를 기준으로 정확히 치수를 재서 캡을 부착한 후 설치한다.나. 현장 절단 부위는 에폭시 페인트로 보수하고, 캡을 부착한 후 설치한다.⑧ 레벨링(leveling)액세스 플로어(access floor) 면과 지지대 면의 높이는 지지대의 조절너트로 조정한 후 고정한다.⑨ 패널 설치가. 설치된 모든 프레임과 콘크리트 부위를 청소한 후 설치한다.나. 지지대 및 스트링거의 손실 면을 에폭시 페인트로 보수한다.다. 양방향 직각을 유지한다.라. 최종적으로 지지대 앵커볼트를 충분히 죈다.⑩ 레벨 미세 조정가. 알루미늄 패널과 스토퍼의 접착상태를 조정한다.나. 지지대의 조절너트로 조정한다.⑪ 검사가. 액세스 플로어(access floor) 면을 청결히 한 후 육안검사를 한다.나. 보양하여 훼손을 방지한다.(2) 검사① 세부 상세도서에 맞는 패널 크기인지 검토한다.② 유공판의 위치 및 매수를 확인한다.③ 액세스 플로어(access floor)가 소요강도에 맞는지 확인한다.④ 계획된 레벨에 맞는지 검사한다.⑤ 계획된 각 지점에 포스트가 설치되었는지를 확인한다.⑥ 각 부재의 도장 면의 훼손 여부를 확인한다.⑦ 스트링거의 위치확인 및 절단면의 커버 플레이트 부착을 확인한다.⑧ 베이스 플레이트 하부의 코킹면을 검사한다.(3) 유지관리① 물품, 장비반입 등으로 인해 손상되지 않도록 보양한다.② 오염부위는 즉시 세척제를 사용하여 세척하며, 마감면의 도전성 또는 물성 변화를 초래하는 세척제의 사용을 금한다.③ 액세스 플로어(access floor)를 빼거나 끼울 때 규정된 기구를 사용하여 무리한 힘을 가하지 않도록 주의한다.
3.3 벽체공사
3.3.1 샌드위치 패널 공사(복합자재 구성판)
(1) 시공① 유의사항가. 패널의 구조: 클린룸에 적합한 조건의 구비 여부와 보강재, 내부심재의 안정성을 점검하고 연결방법과 강도 등을 점검한다.나. 패널의 수치: 폭의 모듈이 건축모듈과 일치해야 하고, 천장고를 확인하여 기기류 및 장비 반입이 가능한지를 확인한다.다. 패널의 두께: 패널의 요구강도에 맞는 필요 두께, 스위치 박스 배선, 배관 등의 내장 및 내장 가능 여부를 확인한다.라. 패널의 표면처리: 클린룸 내장재로서 필요한 조건을 만족하는지와 표면마감재의 두께를 점검한다.마. 표면 도장재: 색채의 선택, 도료의 성능 및 재질을 확인하고 대전방지처리가 되었는지를 확인한다.바. 칸막이 사용 위치: 이설 또는 변경 가능성이 있는 위치를 피한다. 천장과 바닥 벽에 부착 가능하여야 하고, 천장 속과 바닥 하부에 오염이 되지 않게 하며 칸막이의 상호 교환성이 있어야 한다.사. 칸막이 배치: 칸막이와 생산장비와 조화되는지, 장비와 칸막이 연결 부위의 매끈한 상세처리가 되어야 한다.아. 칸막이 부대설비: 칸막이를 관통하는 설비의 위치 및 크기를 확인하고, 설비 기기류의 부착 가능 여부, 전화, 스위치 등의 배선을 내장할 수 있는지를 점검하고 관통 부위의 공기차단 가능 여부를 확인한다.② 시공방법가. 패널의 제작에 앞서 설계도서를 기준으로 한 공작도, 원척도 및 견본을 제출하여 담당원의 승인을 얻고 현장을 실측하여 상이점을 담당원과 협의한다.나. 마무리는 요철이 최소가 되도록 시공하고 가능한 동일면으로 매끈하게 처리한다.다. 모든 부자재의 사용 및 마감은 마모, 방진을 고려하여 결정하고, 실내의 모든 모서리는 가능한 한 둥글게 코킹으로 마감 처리한다.라. 패널의 분할은 현장시공의 단순화를 위해 모듈화하고 모든 조각 패널도 공장제작을 원칙으로 하며 현장에서 절단은 가능한 한 피한다.마. 모든 제품은 운반 및 현장 보관 시에 구석, 모서리 등의 오염, 훼손 방지에 유의하고 포장을 철저히 하여 건조한 곳에 보관한다.바. 시공 시에 청결상태를 유지하고, 패널 및 부자재의 고정 후에는 파손이나 흠집이 생기지 않도록 보양한다.사. 철판과 석고보드는 에폭시 수지 접착제로 완전히 접착하여야 하며, 설치 후 미세한 분리현상도 일어나지 않도록 한다. 철판과 석고보드는 정확한 치수로 제작·설치하여 전후면에서 볼 때 도출되지 않도록 한다.아. 각종 개구부는 패널 크기를 감안하여 지지골조를 설치한다.자. 패널의 줄눈을 유지하고 나사못으로 고정 시 600mm 이하의 간격으로 고정하고 폴리에틸렌 뒤채움을 삽입한 후 실리콘 코킹 처리한다.차. 내부틀 골조시공(가) 모든 틀 골조류는 방청 페인트를 칠하거나 아연용융도금 처리한다.(나) 현장에서 절단용접 시에는 즉시 녹막이 처리를 한다.(2) 검사
복합자재 구성판의 검사는 표 3.2-1의 검사항목을 따르거나 별도로 명기된 공사시방 또는 제작회사의 제품시방서를 준용한다.
| 부위 | 검사항목 | 검사방법 | 검사기구 | 기준 |
| 패널 | 흠, 요철 | 각종 흠의 유무, 오염의 확인 | 관찰 | 눈에 띄지 않을 것 |
| 문패널 | 작동 | 손잡이, 정첩, 문닫힘 동작 등 확인 | 작동관찰 | 마찰음이 없을 것 |
| 휨, 뒤틀림 | 문을 닫은 상태에서 확인 | 자 | 개폐에 문제가 없어야 하며 오차 한계 2 mm 이내 | |
| 틈새 | 문을 닫은 상태에서 확인 | 자 | ±2.0 mm 또는 수직, 수평 편차 1.5 mm 이내 |
| 부위 | 검사항목 | 검사방법 | 검사기구 | 기준 |
| 줄눈 | 줄눈폭 | 자 | 12±2.0 mm 또는 편차 1.0 mm 이하 | |
| 천장 패널 | 틈새 | 틈새 유무 확인 | 없어야 함 | |
| 마무리 | 서로 이웃한 패널의 수평 여부 | 1.0 mm 이하 | ||
| 공통 부문 | 수직도 | 추 또는 자 | 수직 편차 2.0 mm 이하 | |
| 일반 외관 | 외관에 노출된 부분의 색조, 광택의 여부 | |||
| 녹, 도막의 벗겨짐 유무 | 육안관찰 | 없어야 함 | ||
| 건축물의 손상 | 천장, 벽, 바닥, 기둥의 손상 여부 | 육안관찰 | 없어야 함 | |
| 패널제작 및 공사 충실도 | 제작 및 상세 도서와 비교 검토 | 승인도와 일치 | ||
| 마감의 편평도 | 천장 패널의 수평도 | 자 | 2/1,000 이내 | |
| 근접 패널의 요철 편차 | 자 | 2/1,000 이내 | ||
| 패널의 휨 편차 | 자 | 2/1,000 이내 | ||
| 공통 부문 | 수평도 | 자 | 1.0 mm 이내 | |
| 평행차 | 자 | 1.0 mm 이내 | ||
| 안정성 | 천장 패널 및 주심재의 공정방법 확인 | 측면 하중을 받아도 각부에 이상이 없을 것 | ||
| 접착 점검 주의사항 및 연결성 | 이상 유무 확인 | |||
| 진동 방지 건물의 안전도 확인 | 진동되어 덜거덕거림이 없을 것 | |||
| 유리공사의 적정성 유지 확인 |
(3) 유지관리① 일반 청소는 먼지 제거 후 물걸레로 닦는다.② 물걸레로 닦은 후 마른걸레 또는 기름걸레로 닦는다.③ 오염부위는 즉시 세척제를 사용하여 닦아낸다.④ 벽재의 도전성을 손상시키는 왁스의 사용을 금지하고 패널 표면을 보양한다.
3.3.2 스틸 집섬보드 패널공사
(1) 시공방법
3.2.1(1)에 따른다.(2) 검사
3.2.1(2)에 따른다.(3) 유지관리
3.2.1(3)에 따른다.
3.4 천장공사
3.4.1 천장틀 구조
(1) 시공방법① C형강은 쌍(2줄)으로 하여 상, 하 2개소에 설치한다.② 상부 C형강은 콘크리트 빔 측면에 앵글을 설치하여 그 위에 적정 간격으로 설치한다.③ 상부 C형강에서 행거 볼트를 고정하여 하부 C형강을 적정 간격으로 설치한다.④ 천장틀의 사용하는 모든 철물은 아연도금을 원칙으로 한다. 다만, 특수한 경우는 담당원의 확인을 받는다.⑤ 골조의 간격 나누기 및 유닛, 필터 박스, 조명기구 등의 위치는 설계도서에 따른다.⑥ 이형치수는 사전현장 점검을 통해 정확한 제작 설치가 되도록 한다.⑦ 몰드 바를 설치한 후에는 구획별로 수평 맞추기를 실시하여 평활을 유지한다.⑧ 와이어 커넥터를 조립한 후에는 청소를 실시하여 끝난 부위부터 와이어 커넥터 및 와이어 덕트 캡의 부착 유무 및 위치를 확인한 후 코킹을 시공한다.⑨ 조명기기의 부착위치를 정확하게 설정한다.⑩ 볼트, 너트, 와셔 및 기타 철물에 대한 현장 표면처리는 담당원의 승인을 얻어야 하며, 공장에서 처리하는 것을 원칙으로 한다.(2) 검사① 천장틀은 처짐과 변형이 없어야 한다.② 부재의 내·외부 아연도금 상태를 검사한다.③ 현장절단 부위는 아연도금 또는 동등 이상의 재질로 보완처리 여부를 검사한다.④ 각 파이프 천장틀을 사용할 경우 끝 단면에 PVC cap 사용을 확인한다.⑤ 도금상태에 대한 시험은 KS D 0201의 방법에 따른다.⑥ 행잉 바가 시스템 천장과 수직 여부를 확인한다.⑦ 몰드 바의 인장 및 경도시험은 KS D 6759에 따른다.(3) 유지관리① 무리한 하중이나 충격을 방지한다.② 천장 시스템의 평활도를 일정기간 간격으로 점검한다.③ 부속 철물의 마모 및 파손이 있으면 신속히 교체한다.
3.4.2 천장 마감재
(1) 시공① 천장마감은 청소가 용이하고 클린룸 내부와 외부간 입자의 누출이 없는 구조로 하여야 한다.② 공장생산 제품은 제조회사의 시공지침에 준하고, 벽체 자재를 사용할 때에는 클린룸 벽체공사에 준한다.(2) 검사① 천장재로부터의 오염 입자의 누설 여부를 확인한다.② 그 밖에는 표 3.2-1의 복합자재 구성판 검사에 준한다.(3) 유지관리
공장생산 제품은 제조회사의 지침에 준하고, 벽체자재와 같은 마감일 경우는 클린룸 벽체공사에 준한다.
3.5 창호공사
3.5.1 출입문
(1) 시공① 문틀과 패널의 이음 연결 부분은 코킹으로 처리하여 벽체 내부에서 발생되는 분진을 실내로의 유출을 방지한다.② 문틀에는 웨더 스트립을 설치할 수 있는 것을 사용하여 양압의 클린룸 내부공기의 외부 유출량을 최소화한다.③ 경첩은 문의 개폐 시 힌지에서 분진 또는 마찰로 인한 정전기가 발생하지 않는 제품을 사용한다.④ 클린룸 내에 설치되는 문은 자동폐쇄가 되어야 하며, 문 경첩은 클린룸 내부 공기압에 견딜 수 있어야 한다.⑤ 클린룸 내부에서 외부로 통하는 부분의 문은 자동 개폐문으로서 잠김 기능이 있어야 한다.⑥ 출입구의 위치는 생산라인의 이동선 및 작업원의 동선과 일치시키고, 개폐 시의 기류상태의 변화에 따른 생산장비에 영향을 미치지 않아야 한다.(2) 검사① 부속철물의 고정 여부를 확인하고, 벽체의 검사방법에 준하여 실시한다.② 공기의 차단기능 여부를 검사한다.③ 개폐방향의 공간 확보와 바닥면과의 접촉을 확인한다.④ 연결 부위와 부속철물의 고정상태 및 훼손 여부를 확인한다.(3) 유지관리① 무리한 충격을 주지 않는다.② 관련 공사의 진행상태를 고려하여 보양한다.
3.5.2 창
(1) 시공① 투시창은 투시면의 경사각을 유지하여 스크린 현상을 방지한다.② 창틀과 투시판 사이에 기밀성을 유지하도록 코킹한다.③ 창틀의 형태는 먼지가 침착하지 않도록 돌출되지 않게 하며, 돌출된 경우 먼지의 침착이 최소화하는 구조로 한다.(2) 검사① 기밀성 확보 여부를 파악한다.② 창틀의 형태가 클린룸에 적합한지 확인한다.(3) 유지관리① 와이퍼 등을 사용하여 먼지를 제거한다.② 변형이나 훼손이 생기지 않도록 보양한다.”