“
1. 일반사항
1.1 적용범위
(1) 이 기준은 건축물 공기조화설비공사의 클린룸설비공사에 적용되며, 클린룸, 공기정화장치, 클린룸 관련설비 및 기기류를 포함하고 열원기기, 환기 및 공기조화기기, 덕트 및 배관은 제외한다.(2) 제품의 선정은 KS 표시 인증제품 또는 KAS 한국제품인증을 받은 단체표준인증 제품으로 하되 없는 경우에는 KS 표준 또는 단체표준을 참조하여 성능이 검증되는 우수제품을 사용한다.(3) 에너지 절약을 위한 자재 및 기기는 에너지이용합리화법에 의한 등록업체의 제품을 사용한다.(4) 부분적으로 이 시방에 따를 수 없거나 기재되지 않은 사항 특수한 구조로서 이 시방대로 실시할 수 없는 사항에 대하여는 발주자와 협의하여 재료, 구조 및 공법 등을 정하여 그 지시에 따르거나 제조사의 공사시방서에 따른다.
1.2 참고 기준
1.2.1 관련 기준
다음 표준은 이 기준에 명시되어 있는 범위 내에서 이 기준의 일부를 구성하고 있는 것으로 본다.(1) 한국산업표준● KS A 4812 방사성 에어로졸용 고성능 에어필터● KS A ISO 10648-1 오염방지 엔클로저-제1부: 설계원칙● KS A ISO 10648-2 오염방지 엔클로저-제2부: 누출정도와 검사방법에 따른 분류● KS B 6740 클린룸용 에어필터 성능 시험 방법● KS I ISO 14644-1 클린룸 및 관련된 제어환경-제1부: 공기청정도 등급 분류● KS I ISO 14644-2 클린룸 및 관련된 제어환경-제2부: KS M ISO 14644-1의 지속적인 등급유지를 위한 시험 및 모니터링 규격● KS I ISO 14644-3 클린룸 및 관련된 제어환경-제3부: 시험방법● KS I ISO 14644-4 클린룸 및 관련된 제어환경-제4부: 설계, 공사 및 조업개시● KS I ISO 14644-5 청정실 및 관련제어환경-제5부: 작동● KS I ISO 14644-6 클린룸 및 관련된 제어환경-제6부: 용어 ● KS I ISO 14644-7 청정실 및 관련제어환경-제7부: 분리장치(클린에어후드, 글로브박스, 아이솔레이터 미니환경)● KS I ISO 14644-8 클린룸 및 관련된 제어환경-제8부: 공기 중 분자 오염의 등급분류 ● KS I ISO 14698-1 클린룸 및 관련 제어 환경 ─ 미생물 오염 제어 ─ 제1부: 일반 원리 및 방법● KS I ISO 14698-2 클린룸 및 관련 제어 환경 ─ 미생물 오염 제어 ─ 제2부: 미생물 오염 데이터의 해석 및 평가● KS M 1431 탈취용 바이오필터 담체의 성능 시험 방법(2) 단체표준● SPS-KACA001-0131 청정실 기술기준 ● SPS-KACA003-0133 클린룸 성능평가 시험방법● SPS-KACA006-0136 에어샤워● SPS-KACA007-0137 바이오하자드 안전 캐비넷● SPS-KACA009-0139 공기청정기 항균필터● SPS-KACA010-0140 팬필터 유닛 ● SPS-KACA012-0142 ULPA 필터 여재 성능 시험
1.3 용어의 정의
기준의 용어 정의는
1.4 제출문서
2. 자재
2.1 클린룸
2.1.1 일반사항
(1) 각 클린룸 및 보조 구역은 청정도, 온도, 습도, 차압, 기류 등에 있어서 소정의 성능을 가지는 것으로 하며 설계도서상의 표기에는 클린룸 성능(청정도등급, 온도, 습도, 차압 등)이 명시되어야 한다.(2) 모든 내면은 매끄러워야 하고 흠집, 턱, 구멍 등이 가능하면 없어야 한다. 모서리는 다듬질을 해주고 모든 연결 배관들과 전선 등은 오염 경로나 오염원이 되지 않도록 한다.(3) 오염물이 쌓일 수 있는 모든 불필요한 턱이나 유사한 요철들이 없도록 하고 모든 부분을 청소가 가능하도록 한다.(4) 클린룸의 크기는 실용적인 범위 안에서 최소한의 크기로 유지되어야 하고 장래의 요구조건에 맞추어 쉽게 변경할 수 있도록 한다.(5) 모든 접합부는 평행하게 연결되어야 하며 작업을 수행하는데 꼭 필요한 것들만 클린룸 내부에서 연결토록 하고 휴즈상자, 스위치판, 분리기, 밸브 등과 같은 다른 접합부들은 가능한 클린룸 외부에 설치한다.(6) 클린룸을 구성하는 재료의 요구사항
| 항목 | 요구부위 | 요구 내용 | ||
| 천장 | 벽 | 바닥 | ||
| 1. 발진성 | ○ | ○ | ○ | 재료 자체로부터 발진이 적을 것 |
| 2. 내마모성 | ○ | ○ | 마모량이 적을 것 | |
| 3. 내수성 | ○ | ○ | ○ | 물에 의한 변형, 부식이 어렵고, 물청소가 가능할 것 |
| 4. 내약품성 | ○ | ○ | ○ | 클린룸 내의 약품에 대한 사전합의가 있거나 내성이 있을 것 |
| 5. 도전성 | ○ | ○ | ○ | 전기저항치가 작고 대전이 어렵고, 대전 시 신속히 감소될 것 |
| 6. 내흡습성 | ○ | ○ | 열화방지, 녹 등의 발생에 대비하여 습기 흡수가 어려울 것 | |
| 7. 평활성 | ○ | ○ | ○ | 표면이 매끄러워 먼지 등의 부착이 어렵고 청소가 용이할 것 |
(7) 클린룸 구조 요구사항
| 항목 | 요구부위 | 요구 내용 | ||
| 천장 | 벽 | 바닥 | ||
| 1. 내하중성 | ○ | 중량재료 파손되지 말것, 대형 차량의 주행으로 들뜨거나 떨어짐이 없을 것 | ||
| 2. 내진성 | ○ | ○ | ○ | 지진 등 진동에 안전구조일 것, 잔금 등이 생기지 않을 것 |
| 3. 기밀성 | ○ | ○ | ○ | 내부의 양압에 대해 기밀성 유지, 외부먼지에 효과적 구조일 것 |
| 4. 내압성 | ○ | ○ | ○ | 통상의 양압에 비변형구조일 것 |
| 5. 내충격성 | ○ | 낙하 등의 충격으로 분할, 분해 우그러짐이 없을 것 | ||
| 6. 단열성 | ○ | ○ | ○ | 온·습도조건 유지 및 결로 등의 문제가 없는 단열성 구조 |
| 7. 차음성 | ○ | ○ | ○ | 내외에서 발생한 소리가 투과하기 어려운 구조일 것 |
| 8. 방화성 | ○ | ○ | ○ | 건축기준법, 소방법 등에 맞는 구조일 것 |
| 9. 거주성 | ○ | ○ | ○ | 바닥이 미끄럽지 않고, 색조, 천장높이 등으로 압박감이 없을 것 |
| 10. 흡음성 | ○ | ○ | ○ | 발생한 소리가 반향되기 어려운 구조일 것 |
2.2 공기정화장치
2.2.1 입자제거필터
(1) 클린룸에 사용되는 필터의 종류로는 울파필터, 헤파필터, 중성능필터 및 전처리필터가 사용된다. 필터의 종류별 포집효율기준은 다음과 같다.
| 종류 | 포집효율 | 압력손실 | 풍량 | |
| 울파필터 | 0.12~0.17 ㎛ 99.9995% 이상 | 계수법 | 25 mmAq 이하 | 정격 |
| 헤파필터 | 0.3 ㎛ 99.97% 이상 | 계수법 | 25 mmAq 이하 | 정격 |
| 중성능필터 | 60~95% | 비색법 | 비고정 | 정격 |
| 전처리필터 | 20~30% | 비색법 | 비고정 | 정격 |
(2) 프레임
프레임으로는 합판 또는 목분판이나 알루미늄 및 강판, 스테인리스강, 플라스틱류 등으로 한다.(3) 여과재
여과재는 유리섬유 부직포 등으로 한다.(4) 접착제
밀봉재는 여과재 팩과 외곽틀 사이를 밀봉하는 재료로 우레탄계, 네오프렌계, 에폭시계 등의 자기소화성 밀봉제로 한다.(5) 분리판
분리판 사용방식의 필터에는 알루미늄, 크라프트지 등을 파형으로 성형하여 사용하거나 경우에 따라서는 플라스틱 등의 재료를 파형으로 성형하여 사용한다. 분리판을 사용하지 않는 방식은 핫멜트 수지, 리본과 접착제를 사용하여 여재와 여재사이의 공간을 만든다.(6) 개스킷
콜크류, 고무합성품류, 네오프렌계 스폰지류 등으로 하고 누설이 없어야 한다.(7) 기타
특수필터의 종류에 따라 각각 적합한 다른 종류의 재료를 사용한다.(8) 팬필터유닛과 조합되는 경우가 많다.
2.2.2 케미컬 필터
(1) 음이온 및 양이온 치환섬유, 이온교환수지, 입상 및 허니컴 활성탄 등을 첨가한 여과재를 사용한다. (2) 여과재는 그물망 금속 메쉬, 부직포시트, 이온교환섬유시트 등의 구조를 갖는다.(3) 프레임은 알루미늄, 강판, 스테인리스를 사용하고 케이싱은 알루미늄을 사용한다. (4) 접착제는 2.2.1(4)에 따른다.(5) 개스킷은 누설이 없어야 한다.(6) 분리판은 2.2.1(5)에 따른다.(7) 여과재, 케이싱, 프레임, 접착제, 개스킷, 분리판 등의 재료에서 2차로 발생하는 가스가 없어야 한다.(8) 팬필터유닛의 헤파필터와 울파필터의 상부에 설치될 수 있다.
2.2.3 항균 필터
(1) 항균제(효소, 무기담체 등)를 첨가한 여과재는 아코디언 모양으로 접어서 진동 등에 의하여 손상을 받지 않고 정상적인 상태에서 2-3년 동안의 사용에 견딜 수 있는 것으로 한다.(2) 프레임은 한판이나 알루미늄 압출재, 강판, 스테인레스를 사용한다.(3) 접착제는 2.2.1(4)에 따른다.(4) 개스킷은 클로로프렌계와 아피디엠계 고무가 사용되고 누설이 없어야 한다.(5) 분리판은 2.2.1(5)에 따른다.
2.2.4 팬필터유닛
(1) 팬필터유닛은 팬, 필터, 모터, 제어기, 케이싱, 벨마우스, 안전망으로 구성되어 있다.(2) 팬필터유닛을 구성하고 있는 부품 상호간 공진현상이 발생되지 않는 구조이어야 한다.(3) 제어기는 팬필터유닛을 조정하기에 편리하고, 팬필터유닛에서 발생될 수 있는 오류를 신속하게 감지하고 전달할 수 있는 체계를 가져야 한다.(4) 팬과 모터의 교체가 용이한 구조이어야 한다.(5) 벽체의 재료는 쉽게 박리되거나 녹이 발생하지 않아야 한다.(6) 오염입자 또는 화학오염물 배출이 최대한 억제되어야 한다.(7) 표면 대전 방지를 위하여 표면에 금속이나 정전도장 등 처리가 되어 있어야 한다.(8) 플라스틱 사출물을 사용하는 경우에는 오염가스 발생 등에 대하여 사용자와 협의한다.(9) 울파필터 또는 헤파필터는 통상의 공기 조건에서 쉽게 변질, 부식되지 않아야 한다.(10) 울파필터 또는 헤파필터의 부착부는 시간이 경과하여도 패킹의 고착에 의한 에어로졸의 누설이 없는 재료와 구조로 제작되어야 한다.(11) 케미컬 필터가 적용되는 경우 구성품에서 가스발생이 없어야 한다.(12) 팬필터 유닛은 종류는 1~6호로 구분되고 SPS-KACA010-0140에 기재되어 있는 것으로 한다.
2.3 클린룸 보조설비
2.3.1 에어샤워
(1) 일반사항① 에어샤워는 전처리필터, 팬, 헤파필터, 공기분사노즐, 조명으로 구성되고 필요에 따라 자동문, 제전장치 등을 추가할 수 있다.② 모든 재질은 KS 제품을 기준으로 하면 클린룸 내로 입자가 유입되지 않는 구조이어야 한다.(2) 구조① 측면 내부는 팬이 내장되어 있고 모터는 KS품으로 완전 밀폐형을 사용하며 외부에서의 습기나 먼지에 지장이 없고 운전 시 소음 및 진동을 최소로 한다.② 노즐의 재질은 STS를 사용하며, 측면에 설치된 많은 노즐에서 20-30 m/s 정도로 청정공기가 토출되고 하류 측에 설치된 전처리필터를 통과하여 헤파필터에서 재여과 되는 방식이어야 한다. ③ 전처리필터는 세척이 가능하고 교체가 간편하도록 제작하고, 헤파필터는 0.3 ㎛ 입경에서 99.97%의 제거효율을 갖는 것을 사용하고 차압계가 부착되어 있어야 한다.④ 바닥은 강판 1.6 t 이상으로 두께를 사용한다.⑤ 작업자가 에어샤워에 들어갔을 때만 공기가 분사되고 15~30초 경과 후 자동으로 정지되어야 한다.⑥ 작업자가 클린룸으로부터 에어샤워를 통하여 나오는 경우는 팬이 작동하지 않는 구조여야 한다.⑦ 에어샤워의 내부는 입자가 발생하지 않는 구조여야 한다.⑧ 에어샤워 내부의 압력은 클린룸 내부 압력보다 낮도록 하여 에어샤워에서 발생된 먼지가 클린룸 내로 유입되지 않도록 한다.⑨ 입출구문은 자동 또는 수동으로 여닫되 동시에 개방되는 것을 방지하기 위하여 인터록 또는 경보장치가 있어야 한다.⑩ 입출구문은 비틀림이 없는 구조여야 하고 내부가 보일 수 있는 구조라야 한다. 유리창이 있을 경우는 유리두께를 5 mm 이상으로 한다. 정전 시에는 수동으로 여닫을 수 있어야 한다.⑪ 헤파필터의 교체시기를 확인하기 위하여 차압계가 부착되어야 하고 보수 및 교체가 용이한 구조로 한다.⑫ 발생소음은 입출구문 밖 1.5 m 지점에서 75 dB(A) 이하를 원칙으로 하되 구매자와 제작자의 약정에 따라 조정될 수 있다.⑬ 팬의 전동기는 KS표시 인증제품으로 완전 밀폐형을 사용하며 외부에서의 습기나 먼지에 지장이 없고 운전 시 소음 및 진동을 최소로 한다. 케이싱의 진동을 방지하기 위하여 격리시킨다. 송풍기는 필터에서의 압력 강하가 증가하더라도 일정한 유량을 유지할 수 있어야 한다.⑭ 배관재는 부식이 없고 벗겨지지 않는 재질을 사용하여야 하며 적당한 표면처리를 하여 관 표면으로부터의 오염물질 유입을 방지한다.⑮ 케이싱의 재질은 강판 1.6 T 이상을 사용하여 구조적 강도를 갖도록 해야 하며, 노즐 판 및 내부재질은 스테인리스재질을 사용한다. 절곡부의 곡선은 완만하게 처리하고 돌출 부위가 없도록 한다. ⑯ 프레임과 베이스는 강판 1.6 T 이상을 사용하여 본체를 충분히 지지할 수 있게 한다.⑰ 각부 연결부에서는 패킹을 넣어 공기의 누설이 없도록 한다.
2.3.2 패스박스
(1) 일반사항① 패스박스는 가동플랜지, 고정플랜지, 핸들, 투명창으로 구성되고 필요에 따라 공기청정장치, UV램프, 제전장치를 추가할 수 있다.② 모든 재질은 KS표시 인증제품을 기준으로 하며 클린룸 내로 입자가 유입되지 않는 구조이어야 한다.(2) 구조① 패스박스는 통과하는 물건이 걸리지 않는 적당한 크기여야 한다.② 클린룸 내외 작업자간의 의사소통을 위하여 패스박스 양측에 인터폰이나 부저를 설치할 수 있다.③ 패스박스 양측문이 동시에 열리는 것을 방지하기 위하여 인터록장치를 설치한다.④ 패스박스 내부는 입자오염이 되지 않는 재질로 만들어져야 한다.⑤ 패스박스의 문은 다른 실이 보일 수 있는 구조여야 한다.⑥ 내부 재질은 스테인리스 1.5 T 이상을 사용한다. ⑦ 헤파 필터 교체여부를 알기 위한 차압계를 부착한다.⑧ 보수 및 필터 교체가 쉬운 구조이어야 한다.
2.3.3 클린 벤치
(1) 일반사항① 클린벤치는 전처리필터, 팬, 헤파필터, 조명등, 조명등커버 등으로 구성되고 필요에 따라 전면 셔터, UV램프, 가스버너, 시수공급장치, 제전장치 등을 설치한다.② 클린벤치는 수평기류형과 수직기류형이 있다.③ 모든 재질은 KS표시 인증제품을 기준으로 하며 클린룸 내로 입자가 유입되지 않는 구조이어야 한다.(2) 구조① 하부에 공기순환용 팬이 내장되어 있어 클린룸 내부의 공기를 유입하고 측면(수평기류형) 또는 상부(수직기류형)에 설치된 헤파필터를 통하여 0.3∼0.5 m/s의 속도로 여과되어 작업대로 토출된다.② 헤파필터의 설치부는 공기누설이 없어야 한다.③ 클린벤치는 이동이 가능하도록 바퀴 등이 달려 있고 필요한 위치에 고정시킬 수 있는 구조이어야 한다.④ 작업공간에 조명도를 확보하기 위하여 조명등을 달아야 한다.⑤ 작업대에서 사용하는 전기장비에 전원을 공급할 수 있는 콘센트를 설치한다.⑥ 산, 유기용제, 생물인자 등을 취급할 경우에는 이것들이 포함된 공기가 소정의 경로를 통하여 클린룸 외부로 배기가 가능한 구조이어야 한다.⑦ 클린벤치는 오염이 되지 않는 재질로 되어 있어야 한다.⑧ 작업대에 진동이 전달되는 것을 방지하기 위하여 작업대를 분리할 수 있어야 한다.⑨ 헤파필터의 교체여부를 확인하기 위한 차압계가 부착되어야 한다.⑩ 전면 셔터가 장착된 경우 쉽게 여닫을 수 있는 구조여야 한다.⑪ 보수 및 필터교체가 쉬운 구조여야 한다.⑫ 발생소음 65 dB(A) 이하를 원칙으로 하되 구매자와 제작자의 약정에 따라 조정될 수 있다.
2.3.4 클린부스
(1) 일반사항① 클린부스는 전처리필터, 팬, 헤파필터, 지지대, 조명등 등으로 구성되고 본체 주위에 비닐 커튼이나 간이벽체를 설치하여 클린룸의 공기와 차단하여 보다 높은 청정공간을 확보한다.② 모든 재질은 KS표시 인증제품을 기준으로 하며 클린룸 내로 입자가 유입되지 않는 구조이어야 한다.(2) 구조① 장비측면에 공기순환용 팬이 내장되어 있어 클린룸 내부의 공기를 유입하고 헤파필터를 통과한 후 여과된 공기가 수직하방으로 0.3∼0.5 m/s의 속도로 작업대로 토출되는 구조를 갖는다.② 헤파필터의 설치부는 공기누설이 없어야 한다.③ 클린부스는 작업자가 보행할 수 있도록 적당한 높이의 다리를 세워야 하고, 이동이 가능하도록 바퀴를 달고 필요한 위치에 고정시킬 수 있어야 한다.④ 클린부스는 오염이 발생하지 않는 재질로 만들어져야 한다.⑤ 작업공간의 조명도를 확보하기 위하여 조명등을 달아야 한다.⑥ 클린부스 내에서 사용하는 전기 장비에 전원을 공급할 수 있는 콘센트를 설치한다.⑦ 헤파필터의 교체여부를 확인하기 위한 차압계가 부착되어야 한다.⑧ 비닐커튼이나 간이 벽체를 설치한 경우 작업자의 출입이 가능한 구조여야 한다. ⑨ 보수 및 필터교체가 쉬운 구조여야 한다.⑩ 발생소음 65 dB(A) 이하를 원칙으로 하되 구매자와 제작자의 약정에 따라 조정될 수 있다.
2.3.5 바이오하자드 안전캐비닛
(1) 일반사항① 바이오하자드 안전캐비닛은 작업대, 전면패널, 전면개구부, 헤파필터, 배기팬, 조명등 등으로 구성되고 필요에 따라 살균등, 고압멸균기, 소독액조를 설치한다. 미생물, 병원체 등이 외부의 작업자나 주위 환경에 영향을 주지 않는 구조이어야 한다.② 모든 재질은 KS표시 인증제품을 기준으로 하고 안전등급에 따라 등급 I, II, III으로 구분된다.(2) 구조① 안전캐비넷은 포름알데히드 가스멸균이 가능한 구조이어야 한다. 전면개구부, 배기구 등은 금속판, 플라스틱 시트, 점착테이프 등으로 밀봉할 수 있는 구조여야 한다.② 안전 캐비넷의 재료는 난연성, 내부식성, 내마모성, 내습성을 갖추어야 한다.③ 내부 작업면은 300시리즈의 스테인리스강 또는 동등 성능 이상의 재료를 사용한다.④ 외부표면은 내마모성, 내부식성을 갖고 금이 가지 않는 안정된 재료를 사용하고 평활해야 한다.⑤ 전면패널은 투명하고 불연성이며 소독, 멸균 등으로 변질되지 않아야 한다. 유리를 사용하는 경우 두께 5 mm 이상의 강화유리를 사용한다.⑥ 소음재는 비경화성 재료를 사용한다.⑦ 헤파필터의 재질은 2.2.1에 따른다.⑧ 팬은 취출 풍속이 일정한 양방향 팬을 사용하고 모터는 소음, 진동이 차단된 구조여야 한다.
3. 시공
3.1 공기정화장치 설치
3.1.1 입자제거필터(헤파필터, 울파필터)
(1) 방법 1① 개스킷을 사용하여 밀봉한다.② 상온에서 필터 설치틀의 오염물과 유지분을 제거하고 필터를 설치한다.(2) 방법 2① 밀봉제의 재료로 겔 실(gelseal)을 사용한다.② 밀봉제는 상온에서 사용한다.③ 상온에서 필터 설치틀의 오염물과 유지분을 제거하고 겔을 넣은 후 평탄하게 되면 필터를 설치한다.④ 이 방법은 필터 설치틀의 설치시간이 길고 시공이 어려우나, 교환이 용이하며 기밀성, 내구성, 내진성이 좋다.(3) 방법 3① 밀봉제의 재료로 밀봉제의 재료로 실리콘을 사용한다.② 밀봉제는 상온에서 사용한다.③ 상온에서 필터 설치틀의 오염물과 유지분을 제거하고 겔을 넣은 후 평탄하게 되면 필터를 설치한다. ④ 이 방법은 필터 설치틀 및 필터설치에 따른 시공성이 우수하고 기밀성이 좋으나 내구성, 내진성은 보통이다.(4) 방법 4① 밀봉제의 재료로 액체 밀봉제를 사용한다.② 밀봉제를 가열방식으로서 약 70~80 ℃까지 가열하여사용한다.③ 필터 설치틀의 오염물과 유지분을 제거하고 액체밀봉제를 가열 액화시켜 필터 외곽틀에 액체 밀봉제를 주입하고 필터를 설치한다.④ 이 방법은 필터 설치틀 및 필터설치에 따른 시공성은 보통정도이며, 기밀성, 내구성, 내진성은 보통이다.(5) 주의사항 ① 필터 설치방법은 클린룸의 천정구조에 따라 다소차이가 있다.② 공기의 유동방향을 확인하여 정확한 방향으로 필터를 설치한다.③ 절대로 필터면에 손이 닿지 않도록 주의하고 외부장애물, 각종 연장에 의해 필터면이 손상되지 않도록 주의하여 설치한다.④ 이 방법은 필터 설치틀 및 필터설치에 따른 시공성은 보통정도이며, 기밀성, 내구성, 내진성은 보통이다.⑤ 필터는 반드시 클린룸이 준청정상태가 된 후 설치한다.⑥ 필터 설치틀의 바깥 면에 붙은 각종먼지의 청소가 끝나기 전에는 절대로 필터를 설치해서는 안 된다.
3.1.2 케미컬필터
케미컬필터의 설치는 3.1.1에 따른다.
3.1.3 항균필터
항균필터의 설치는 3.1.1에 따른다.
3.1.4 팬필터유닛
팬필터유닛의 설치는 3.1.1에 따른다.
3.2 클린룸 보조설비 설치
3.2.1 에어샤워
(1) 에어샤워는 클린룸의 입구 측에 수평으로 설치한다.(2) 에어샤워는 입구와 출구를 구별하여 출구가 클린룸 측으로 향하게 설치한다.(3) 벽체에 진동이 전달되는 것을 방지하기 위하여 에어샤워와 벽체를 이격시켜야 한다.(4) 공기의 누출을 방지하기 위하여 벽체와 에어샤워 사이의 틈새를 코킹한다.
3.2.2 패스박스
(1) 패스박스는 물건을 반입하고자 하는 클린룸의 벽에 설치한다.(2) 물건을 쉽게 반입할 수 있도록 설치높이를 결정하고 벽을 타공한다.(3) 공기의 누출을 방지하기 위하여 벽체와 패스박스 사이의 틈새를 코킹한다.(4) 패스박스에 부착된 고정 장치를 사용하여 견고하게 고정시키고 수평을 유지한다.
3.2.3 클린부스
(1) 클린부스는 사용자가 요구하는 장소에 수평으로 설치한다.(2) 위치가 결정되면 고정 장치를 사용하여 고정한다.(3) 비닐 커튼이나 간이 칸막이를 설치한다.(4) 장비의 보수 및 필터교체가 가능하도록 주위공간을 확보한다.
3.2.4 클린벤치
클린벤치의 설치는 3.2.3에 따른다.
3.2.5 바이오하자드 안전캐비넷
바이오하자드 안전캐비넷의 설치는 3.2.3에 따른다.
3.3 시험 및 검사
3.3.1 일반사항
(1) 시험 및 검사는 KS표준에 의하며 시험 및 검사의 규정이 없는 것은 제품에 대한 KS표준을 준용한다.(2) 클린룸의 시험 및 평가를 수행할 수 있는 자는 해당기술분야 전문가(특급기술자 포함)를 포함한 전문인력과 KS표준에서 정한 시험을 수행할 수 있는 장비를 보유한 업체로서 관련단체(한국공기청정협회)로부터 확인을 받은 업체가 수행한다.(3) 시험장비는 적절한 허용오차 범위 내에서 작동되어야 하고 공인교정기관에서 인정하는 기관에 의하여 주기적으로 교정되어야 한다.
3.3.2 클린룸
(1) 바닥, 벽체, 천장, 창호 등의 시험 및 검사는 SPS-KACA001-0131을 준용한다.(2) 완성된 클린룸의 성능 시험 및 검사는 KS표준에 의하고 KS표준에 없는 시험은 SPS-KACA001-0131 및 SPS-KACA003-0133을 준용한다. (3) 완성된 클린룸에 대한 성능 인증은 한국공기청정협회의 클린룸 성능평가 단체 품질인증 운영규정에 따라 실시한다.
3.3.3 공기정화장치
(1) 입자제거필터(헤파필터, 울파필터)① 헤파필터 및 울파필터의 시험 및 검사는 KS 표준에 의한다.② KS 표준이 없는 시험의 경우 SPS-KACA004-0134 및 SPS-KACA012-0142을 따른다.(2) 케미컬필터① 케미컬필터의 시험 및 검사는 KS 표준에 의한다.(3) 항균필터① 케미컬필터의 시험 및 검사는 KS 표준에 의한다.② KS 규정에 없는 시험의 경우 SPS-KACA009-0139를 준용한다.(4) 팬필터유닛
팬필터유닛의 시험 및 검사는 SPS-KACA010-0140을 따른다.
3.3.4 클린룸 보조설비
(1) 에어샤워
시험 및 검사는 KS에 준하며 시험 및 검사의 규정이 없는 것은 SPS-KACA006-0136을 준용한다.(2) 패스박스
시험 및 검사는 KS에 준하며 시험 및 검사의 규정이 없는 것은 SPS-KACA001-0131을 준용한다.(3) 클린벤치
시험 및 검사는 KS에 준하며 시험 및 검사의 규정이 없는 것은 SPS-KACA001-0131을 준용한다.(4) 클린부스
시험 및 검사는 KS에 준하며 시험 및 검사의 규정이 없는 것은 SPS-KACA001-0131을 준용한다.(5) 바이오하자드 안전캐비닛
시험 및 검사는 KS에 준하며 시험 및 검사의 규정이 없는 것은 SPS-KACA007-0137을 준용한다.”